Многоканальная емкостная измерительная система capaNCDT 6500

Емкостные датчики перемещения предназначены для задач измерения, которые требуют чрезвычайно высокой точности. Емкостная многоканальная система capaNCDT 6500 идеально подходит для надежных измерений вплоть до субнанометрового разрешения. Контроллер предлагает максимальную частоту отклика 7,8 кГц (цифровую, до четырех каналов) или частотную характеристику 8,5 кГц. Помимо аналогового выхода доступен интерфейс EtherCAT. EtherCAT обеспечивает точную передачу данных в режиме реального времени с высокой скоростью интеграции в существующую среду измерений и синхронизацией двух систем. Настройка и настройка системы capaNCDT 6500 легко осуществляются с помощью веб-браузера.

• Диапазоны измерения (мм): 0,05 / 0,2 / 0,5 / 0,8 / 1 / 2 / 3 / 5 / 10
• Линейность: макс. 0,01 мкм
• Разрешение: макс. 0.0375 нм
• Аналоговый выход: напряжение
• Цифровой интерфейс Ethernet/EtherCAT
• Модульный - с возможностью расширения до 8 каналов

Система capaNCDT 6500 предназначена для задач измерения, которые требуют субнанометрового разрешения. Его сильные стороны особенно хорошо проявляются в задачах позиционирования в полупроводниковой промышленности и лабораторных применениях. К предварительному усилителю можно подключить до восьми датчиков к электронике формирования сигнала. Благодаря удобному веб-интерфейсу весь процесс настройки контроллера и датчиков осуществляется без использования какого-либо дополнительного программного обеспечения. Доступ к веб-интерфейсу возможен через Ethernet и предоставляет параметры настройки и конфигурации для фильтров, арифметических связей и других полезных параметров, таких как запуск, хранение значений измерений и линеаризация.